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第六十三章 组建实验室

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想要制取电子级单晶硅,需要从普通的工业级单晶硅(6N),提纯到太阳能级单晶硅(9N),最后再提纯到电子级单晶硅(11N)。

并且,硅的提纯,越往后越困难,不论是对制取的技术要求,还是对提纯的设备要求,都越来越变态。

国际上最主流的提纯方法,为提拉法。

简单来说,就是采用一个具有预定义取向的籽晶沉浸在熔融体中,使籽晶和熔融体在不同方向上旋转,然后慢慢地往上提拉,提拉的过程中,熔融体在表面张力的作用下随着籽晶逐渐被拉起,并冷却结晶成为连续的单晶体。

用提拉法得到的单晶硅,全都是圆柱状的单晶硅,又被称为晶柱或者晶棒。

再将晶柱切片,得到的圆片状单晶硅片,又被称为晶圆。

原理解释起来很简单,但要做到将晶柱尽可能的变粗,而且硅的纯净度要足够高,达到11N水平,可不是容易的事。

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