EUV光源的技术基本只掌握在花旗国Cymer公司手中，星光科技公司作为一家华夏公司，基本上不可能与対方达成技术合作，因为花旗国政府，就不会同意。

EUV光刻机——顶级科学与顶级制造的结合。

EUV波长只有13.5nm，穿透物体时散射吸收强度较大，这使得光刻机的光源功率要求极高，此外机器内部需是真空环境，避免空气对EUV的吸收，透镜和反射镜系统也极致精密，配套的抗蚀剂和防护膜的良品率也需要更先进技术去提升。

一台EUV光刻机重达180吨，超过10万个零件，需要40个集装箱运输，安装调试都要超过一年时间。总之，EUV光刻机几乎逼近物理学、材料学以及精密制造的极限。

所以EUV不仅是顶级科学的研究，也是顶级精密制造的学问。

Loading...

未加载完，尝试【刷新网页】or【关闭小说模式】or【关闭广告屏蔽】。

使用【Firefox浏览器】or【Chrome谷歌浏览器】打开并收藏！

移动流量偶尔打不开，可以切换电信、联通网络。

收藏网址：www.haimabooks.com

(＞人＜；)