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第八十九章 第二代光刻机诞生

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赵烨给这台光刻机设计的光刻机运动系统,是利用了杠杆原理来实现的。

毕竟现在这台机器还是几乎是纯手动,赵烨利用精密的丝杆,再带精密齿轮组,把底座的运动距离,放大了很多倍,这样才能实现光刻机外面设置的手轮,转动一圈,底座按照设计位移两微米。这几乎是这个时代的极限了。

这样的手轮在光刻机的操作台上有七个,分别控制底座不同的运动路径。等到这套系统被安装完毕后,几个专家立即就进行测试。测试的工作比安装还要慢,等测试的工作完成后,整个地下室都响起了热烈的掌声。

“太不可思议了,太伟大了!这简直就是奇迹!”负责测量的人员,都猛烈的拍着巴掌,对这些高级技工,报以热烈的掌声。

这些精密加工,都是赵烨这几个人,一点点的用手完成的。最后的移动精度,震惊了精密测量专业的专家。

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