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第231章 第四代光刻机

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第四代光刻机应该是个什么样子?应该具备那些参数?这些东西,此时都已经装在了赵烨的脑子里。

首先,光刻机,顾名思义,要有光。

光是激光,而能用于工业生产上的激光,也就是那么几个波段。目前来讲,赵烨他的应用的还是跟二十年前的一样的高压汞灯。

只不过这种灯也更新换代好几次了,提供的激光波长如今已经到了436nm。光源的波长,直接影响着芯片工艺的制程。

简单理解,这个波长就好比凿子的宽度,你想用一厘米宽的凿子,雕刻半厘米宽的线。这几乎是不可能的。

这里用几乎,当然就有特殊情况了。就比如赵烨他们搞得浸入式技术。在晶圆表层注入一毫米纯净水,利用水对光的折射,进而改变激光的波长。

这个技术,目前还是国内光刻机行业的绝密,所有接触和知道这项技术的人,不客气的讲,都在保密部门的监督下生活着,只不过他们自己不知道或者装作不知道而已。

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