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第一六四章 KrF 248nm紫外光刻机

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“岸然,这事我必须当面和你清楚,这七套设备虽然都是1.5微米制造工艺,不过其中有四台,和其他的有些区别。”

王岸然一下来了兴致。

“有什么不一样?”

“有三台使用的是高压汞灯i线365纳米光源,而另外四台……”

“张教授,你倒是啊!”

张大京嘴角带着笑,指着王岸然道:“岸然,我一直以为你比别的年轻人沉得住气,现在看来,只是没找到你感兴趣的东西啊!”

王岸然白了张大京一眼,道:“张教授,你再不,我可要翻脸了啊!”

“好!好!”张大京摇摇头,道:“岸然,有四台使用的是Krf248纳米准分子激光光源。”

额,王岸然感觉呼吸都有些急促,krf准分子激光光源有两种波长,一种是248纳米,另外一种就是193纳米。

这跟高压汞灯光源不一样的是,高压汞灯光源还属于可见光,而krf准分子激光已经迈入紫外线的范畴。

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